
NANO-MASTER INC(那諾-馬斯特股份有限公司)前身是NANO-MASTER USA(那諾-馬斯特美國),該公司是NANO-MASTER S.A.,France(法國那諾-馬斯特有限公司)于1992年在美國所創(chuàng)立的全資子公司,是一家國際領先的缺陷檢測和高速鍍層測量的計量公司。自從1993年開始Birol Kuyel博士全面接管NANO-MASTER,USA(那諾-馬斯特美國)并正式更名。
NANO-MASTER(那諾-馬斯特)自2001年開始設計開發(fā)薄膜應用方面的設備,正式面世的系統(tǒng)依次是磁控濺射、PECVD、晶圓/掩模版清洗系統(tǒng)…。應用領域涵蓋了半導體、MEMS、光電子學、納米技術和光伏等。我們的設備包含用于二氧化硅、氮化硅、類金剛石和CNT沉積的PECVD,用于InGaN、AlGaN生長的PA-MOCVD,濺射鍍膜(反應濺、共濺 、組合濺),熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā),離子束刻蝕和反應離子刻蝕,原子層沉積,兆聲清洗以及光刻膠剝離等。不到十年的時間內NANO-MASTER(那諾-馬斯特)已經發(fā)展成為全球薄膜設備的供應商,已售出的幾百套設備分布于20多個不同國家的大學、研發(fā)中心和國家重點實驗室。
Birol Kuyel博士作為NANO-MASTER(那諾-馬斯特), Inc.的主席和CEO,其背景涵蓋了寬廣的技術領域,包含高溫等離子物理、流體學、Si3N4 薄膜沉積和特性描述、X射線源開發(fā)、DUV源開發(fā)、DUV步進和掃描光刻設備開發(fā)、光刻運營成本建模(SEMATECH)等,目前擁有9項專利技術,并發(fā)表過大量的學術論文。
NANO-MASTER(那諾-馬斯特)聘用技術熟練并具有良好教育背景的設計和制造工程師、應用工程師、服務工程師、技術支持人員,使得公司擁有一流的服務團隊。作為薄膜工藝的設備提供商,我們的目標是提供高品質的服務并始終位維持最高水平的集成度。
為更好服務大中華區(qū)(包含中國大陸,香港,臺灣和澳門)的業(yè)務, NANO-MASTER(那諾-馬斯特)于2015年4月份在香港正式成立NANO-MASTER CHINA(那諾-馬斯特中國),并在中國大陸設有專門的服務辦公室,提供銷售和售后技術服務。